个人经历

1978 – 1982：上海交通大学材料科学和工程系学士

1983 – 1984：美国凯斯西储大学硕士

1984 – 1989；纽约州立大学石溪分校博士

1989 – 1990：美国布鲁克海文国家实验室博士后

1990 – 2010：美国应用材料公司高级工程师，集成电路薄膜设备及工艺

2010 – 现在：北京北方华创公司教授级工程师，泛半导体设备及工艺